用于测量单晶电池片多晶电池片薄膜厚度及其光学常数激光椭偏仪

多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有较高的j确度和准确度。



多角度激光椭偏仪 - 产品特点

■ 可以测量单晶电池片、多晶电池片
■ 可以测量抛光片，精I度和准确度较高
■ 可以测量粗糙表面的“绒片”
■ 适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■ 可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度
■ 配置有高稳定度补偿器，提供z小的漂移值和z小的测量误差
■ 配置有高精度的自动光学对准显微镜
■ 可进行20°－90°范围内的多角度测量



多角度激光椭偏仪 - 测量特点

■ 非破环性检测
■ 样品准直简单方便
■ 测量速度快
■ 可变入射角范围宽
■ J对测量
■ 软件分析功能强



多角度激光椭偏仪 - 技术指标

■ 光源：He-Ne激光器
■ 光斑直径：1-2mm
■ 入射角范围：20°到90°,5°/步
■ 精度：0.002°~ 0.02°
■ 膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si
■ 折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si
■ 激光光斑：直径1mm
■ 激光波长632.8 nm