多角度激光椭偏仪

多角度激椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用6波长氦氖激器，具有较高的确度和准确度。


 可以测量单晶电池片、多晶电池片
■ 可以测量抛光片，确度和确度较高
■ 可以测量粗糙表面的“绒片”
■ 适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■ 可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量度
■ 配置有高稳定度补偿器，提供小的漂移值和小的测量误差
■ 配置有高精度的自动光学对准显微镜
■ 可进行20°－90°范围内的多角度测量



多角度激椭偏仪 - 测量特点

■ 非破环性检测
■ 品准直简单方便
■ 测量速度快
■ 可变入射角范围宽