进口配置硅中氧碳含量测试仪

我公司的经销的进口硅材料氧碳含量测试仪器，所测硅料硅棒硅片氧、碳含量自动、快速、准确，可靠性
高，稳定性好，一致性佳，ASTM 线性度对 0.0 % T 的偏离小于 0.07 % T，是公认标准的氧碳含量测
试仪器。同时功能强大，应用深度广，还可以进行电池片及半导体进行膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，FSG
分析，SiN/SiON分析。 
产品特点 
■ 硅中氧碳含量测试分析系统是高端研究型硅料杂质含量仪器，该仪器建立在一个共同的光学和电子平台
上，达到仪器性能和应用技术的高水准。 
■ 硅中氧碳含量测试分析系统为完整的数据采集、处理过程提供了功能强大的、与Windows兼容的基础系
统软件。 
■ 基础系统软件包含了广泛的、友好的在线帮助系统，该系统不仅指导如何操作软件，还提供了从基本
原理、光谱解析到优实验设计等一系列*帮助功能。 
■ 杂质分析软件功能强大，不仅可以做到硅料硅棒硅片氧、碳含量自动、快速、准确的测量，还可以进行
电池片及半导体膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，FSG分析，SiN/SiON分析 
■ 测量结果稳定性好，一致性佳。热稳定性较高的整体块状反射镜消除了传统单片反射镜螺丝固定带来的
镜片*变形、螺丝*松动、需要人工调整光路的弊端，具有较高的重复性，甚至是仪器间的一致性。
精密的机械加工确保每次扫描的高度再现，彻底消除仪器给实验结果带来偏差。 
■ 制样简便、智能操作。
■ 功能强大，还可以进行膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，FSG分析，SiN/SiON分析。 
■ 自动识别、自动性能测试、自动参数设定、定位校准等特色提高了应用实验的重复性，完全消
除人为误差。