硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触无损伤的体电阻率测试

HS-TRM-100型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流（Eddy Current）测试技术，能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。

无接触式电阻率型号测试仪-产品特点
■ 测试范围广，低阻可测至0.001ohm.cm，甚至0.0007ohm.cm,高阻可测至100ohm.cm 
■ 产品体积小，便于移动和携带 
■ 采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率 
■ 无接触、无损伤快速测试 
■ 测试前*表面处理 
■ 特别对于多晶，能够有效避免晶界对测试的影响 
■ 测试范围：0.001-100 ohm.cm (分段测试） 
■ 可选加无接触PN型号测试功能 
■ 可进行温度和厚度的修正

无接触式电阻率型号测试仪-技术指标
■硅棒硅块可测量电阻率范围：0.001-100Ohm.cm

■较小测试厚度：200μm

■测量时间：2秒/次

■较小测试面积：30x30 mm2

■推荐使用温度：20℃

■湿度：≤80%

■气压：86-106kPa

■使用电压：230±10V

■频率，50±3Hz

■功率消耗：≤5W

■尺寸（LxWxH）：280x200x60mm



典型客户
美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。