硼磷硅母合金掺杂剂

母合金掺杂剂
■掺杂，又称配料，掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质（如磷）或受主杂质（如硼）的杂质浓度，使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。本公司提供以下多种类型母合金：
■形状
■块状
■片状
■棒状
■掺杂类型
■硼
■磷
■型号
■P型
■N型
■电阻率
■0.001-0.006 Ω.CM 
■确保每段电阻率偏差在0.001或0.0005范围内
■浓度
■硼含量(atom/cm3)=1.1732E20～1.6184E19
■磷含量(atom/cm3)=7.3763E19～9.6552E18
■碳含量(atom/cm3)<5E16
■氧含量(atom/cm3)<1E18