进 口 硅 材 料 氧 碳 含 量 测 试 仪 器

我 公 司 的 经 销 的 进 口 硅 材 料 氧 碳 含 量 测 试 仪 器 ， 所 测 硅 料 硅 棒 硅 片 氧 、 碳 含 量 自 动 、 快 速 、 准 确 ， 可 靠 性
高 ， 稳 定 性 好 ， 一 致 性  ， A S T M   线 性 度 对   0 . 0   %   T   的 偏 离 小 于   0 . 0 7   %   T ， 是 全 球 公 认 标 准 的 氧 碳 含 量 测
试 仪 器 。 同 时 功 能 强 大 ， 应 用 深 度 广 ， 还 可 以 进 行 电 池 片 及 半 导 体 进 行 膜 厚 分 析 ， B P S G 分 析 , P S G 分 析 ， F S G
分 析 ， S i N / S i O N 分 析 。  
 
 
产 品 特 点  
■   硅 中 氧 碳 含 量 测 试 分 析 系 统 是 高 端 研 究 型 硅 料 杂 质 含 量 仪 器 ， 该 仪 器 建 立 在 一 个 共 同 的 光 学 和 电 子 平 台
上 ， 达 到 仪 器 性 能 和 应 用 技 术 的  高 水 准 。  
■   硅 中 氧 碳 含 量 测 试 分 析 系 统 为 完 整 的 数 据 采 集 、 处 理 过 程 提 供 了 功 能 强 大 的 、 与 W i n d o w s 兼 容 的 基 础 系
统 软 件 。  
■   基 础 系 统 软 件 包 含 了 广 泛 的 、 友 好 的 在 线 帮 助 系 统 ， 该 系 统 不 仅 指 导 如 何 操 作 软 件 ， 还 提 供 了 从 基 本
原 理 、 光 谱 解 析 到 较 优 实 验 设 计 一 系 列 专 家 帮 助 功 能 。  
■   杂 质 分 析 软 件 功 能 强 大 ， 不 仅 可 以 做 到 硅 料 硅 棒 硅 片 氧 、 碳 含 量 自 动 、 快 速 、 准 确 的 测 量 ， 还 可 以 进 行
电 池 片 及 半 导 体 膜 厚 分 析 ， B P S G 分 析 , P S G 分 析 ， F S G 分 析 ， S i N / S i O N 分 析  
■   测 量 结 果 稳 定 性 好 ， 一 致 性 佳 。 热 稳 定 性 较 高 的 整 体 块 状 反 射 镜 消 除 了 传 统 单 片 反 射 镜 螺 丝 固 定 带 来 的
镜 片 容 易 变 形 、 螺 丝 容 易 松 动 、 需 要 人 工 调 整 光 路 的 弊 端 ， 具 有 较 高 的 重 复 性 ， 甚 至 是 仪 器 间 的 一 致 性 。
精 密 的 机 械 加 工 确 保 每 次 扫 描 的 高 度 再 现 ， 彻 底 消 除 仪 器 给 实 验 结 果 带 来 偏 差 。      
■   制 样 简 便 、 智 能 操 作 。  
■   功 能 强 大 ， 还 可 以 进 行 膜 厚 分 析 ， B P S G 分 析 , P S G 分 析 ， F S G 分 析 ， S i N / S i O N 分 析 。  
■   自 动 识 别 、 自 动 性 能 测 试 、 自 动 参 数 设 定 、  久 确 定 位 校 准 等 特 色 提 高 了 应 用 实 验 的 重 复 性 ， 完 全 消
除 人 为 误 差 。      
■   智 能 光 学 台 的 所 有 元 件 均 采 用 智 能 化 预 准 直 对 针 定 位 ， “ 即 插 即 用 ” 设 计 ， 分 束 器 、 检 测 器 及 智 能 附 件
一 旦 插 入 系 统 ， 智 能 系 统 立 刻 自 动 识 别 ， 自 动 更 新 参 数 ， 自 动 优 化 无 需 调 整 。 完 全 抛 弃 了 老 式 螺 钉 螺 母 ，
出 厂 前 激 光 定 位 的 方 法 ， 克 服 了 由 螺 丝 弹 簧 控 制 镜 面 角 度 的 不 稳 定 性 。      
■   智 能 湿 度 探 测 减 轻 了 操 作 人 员 对 仪 器 维 护 的 工 作 量 ， 将 自 动 提 醒 更 换 干 燥 剂 ， 解 决 红 外 使 用 过 程 中  大

的 隐 患 。      
■   在 线 智 能 诊 断 ： 连 续 检 测 每 一 个 光 学 元 件 和 电 子 元 件 的 参 数 ， 随 时 可 以 检 测 并 预 知 光 谱 仪 的 故 障 ， 并 提
出 解 决 方 案 ， 增 强 用 户 的 自 我 维 护 能 力 。  
■   光 学 台 采 用 美 国 宇 航 专 利 密 封 胶 条 的 整 体 密 封 干 燥 设 计 ， 减 少 了 光 路 中 的 密 封 窗 片 ， 提 高 了 光 的 传 输 效
率 ， 且 防 潮 效 果   。      
■   光 学 台 采 用 整 体 铸 模 形 式 ， 加 上 高 精 度 的 “ 对 针 定 位 ” 固 定 光 学 元 件 ， 达 到 了 ** 高 精 度 的 重 复 性 ， 大 大
增 加 了 仪 器 的 稳 定 性 。 彻 底 解 决 了 传 统 光 学 结 构 不 易 维 护 的 问 题 ， 未 入 门 用 户 即 可 自 行 安 装 、 更 换 光 学 元
件 。    
■   现 代 较 新 的 计 算 机 技 术 同 步 的 新 的 U S B   2 . 0   通 讯 接 口 ， 提 高 了 数 据 传 输 速 率 。    
■   专 利 的 无 缝 不 锈 钢 设 计 的 液 氮 冷 却 检 测 器 ， 液 氮 保 持 时 间 长 达 1 8 小 时 ， 属 业 内 。    
■   较 新 E T C   E v e r G l o T M 光 源 ， 红 外 光 源 能 量 稳 定 输 出 ， 确 保 光 源 整 个 寿 命 中 均 可 保 证 性 能 一 致 ， 从 而 得 到
稳 定 的 高 质 量 红 外 图 谱 ；  
■   可 通 过 “ T u r b o ” 模 式 获 得 ** 出 常 规 能 量 2 5 % 高 能 量 输 出 ， 用 以 满 足 特 殊 测 试 要 求 。      
■   电 磁 悬 浮 驱 动 专 利 干 涉 仪 ， 成 为 较 新 一 代 高 级 研 究 应 用 所 青 睐 的 干 涉 仪 ， 分 辨 率 高 可 达 0 . 0 9 c m - 1 。      
■   数 字 化 连 续 动 态 调 整 （ D . S . P ） ， 速 度 达 每 秒 1 3 0 , 0 0 0 次 ,   保 证 瞬 时 与 长 时 间 检 测 的 ** 高 稳 定 性 ， 更 好
的 光 谱 峰 形 。  
■   品 种 齐 全 的 各 类 检 测 器 ， 适 用 于 紫 外 至 远 红 外 的 任 何 光 谱 范 围 或 实 验 配 置 要 求 ， 并 具 有 的 性 能 。  
■   所 有 的 检 测 器 均 “ 即 插 即 用 ”   （ P l u g   a n d   P l a y ） ， 易 于 更 换 与 使 用 。  
■   在 样 品 仓 盖 开 启 时 ， * 特 的 智 能 吹 扫 系 统 将 自 动 进 行 检 测 ， 增 加 光 学 台 中 吹 扫 气 体 的 流 量 ， 在 连 续 测 样
的 过 程 中 以  短 的 吹 扫 时 间 恢 复 到 开 仓 前 的 状 态 ， 以 确 保 尽 可 能 迅 速 而 高 效 地 收 集 数 据 。      
■   精 密 铸 造 的 光 学 台 底 座 配 以 较 少 数 量 的 反 射 镜 以 及 较 短 光 程 的 设 计 。  
■   金 刚 石 加 工 切 削 整 体 合 金 反 射 镜 ， 光 路 传 输 效 率 更 高 于 一 般 金 属 镀 层 技 术 的 反 射 镜 ， 保 证 大 光 学 效 能
输 出 。  
■   高 性 能 电 子 系 统 ： 较 新 的 2 4 位 A / D 转 换 器 ， 5 0 0 K H z 的 A / D 转 换 速 度 ， 真 正 做 到 实 时 采 集 光 谱 数 据 ， 保 证
数 据 的 真 实 性 与 可 靠 性 。  
 
 
推 荐 工 作 条 件  
■   室 内 环 境 温 度 1 5 ～ 3 0 ℃ ； 相 对 湿 度 （ 全 天 候 ） 不 ** 过 6 0 % 。  
■   室 内 无 强 磁 场 干 扰 ； 无 妨 碍 仪 器 正 常 工 作 的 震 动 。  
■   室 内 环 境 清 洁 、 干 燥 、 没 有 灰 尘 、 无 腐 蚀 性 气 体 。  
■   氧 碳 测 试 仪 是 精 密 光 学 仪 器 ， 为 防 止 酸 、 碱 及 其 它 腐 蚀 性 气 体 、 烟 雾 侵 蚀 仪 器 ， 必 须 和 化 学 实 验 室 分 开 ；
仪 器 光 学 系 统 对 湿 度 、 温 度 要 求 很 高 ， 实 验 室 应 安 装 空 调 及 去 湿 设 备 。